研課題
J-GLOBAL ID:200904004114897315  研究課題コード:9800027235 更新日:1996年07月19日

光点変位法による微細形状測定

Measurement for surface roughness by refected light displacement
実施期間:1995 - 1995
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (3件):
研究概要:
レーザービームを細く絞って加工面に照射し,加工面の移動に伴う反射スポットの挙動をCCDカメラで撮像して変位を求める光点変位法により表面粗さ測定を行い,この測定方法の精度向上を図る
キーワード (4件):
レーザビーム ,  加工面 ,  表面粗さ ,  測定精度
研究制度: 経常研究
研究予算: 1995年度: 550(千円)

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