研課題
J-GLOBAL ID：200904007760538993
研究課題コード：2796
更新日：2013年10月07日
AFM探針形状評価技術の開発
実施期間：2005 - 継続中
実施機関 (1件)：
実施研究者（所属機関） (1件)：
研究概要：
原子間力顕微鏡(AFM)においては探針の先端形状のわずかな違いが測定結果(観察画像)に大きな影響を与えます。本開発では、先端形状評価用標準試料と評価技術の確立をめざします。化合物半導体成膜技術を応用して、5~100nmの凸凹周期構造と1nmレベルの孤立構造を持つ標準試料を開発し、探針形状の精密測定を可能にします。さらに標準試料による形状補正アルゴリズムを開発して、AFMにおけるナノ測定の定量化、標準化に貢献します。
研究制度：
先端計測分析技術・機器開発プログラム
研究所管省庁：
研究所管機関：
研究予算：
0(千円)
上位研究課題 (1件)：
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