研課題
J-GLOBAL ID:200904007760538993  研究課題コード:2796 更新日:2013年10月07日

AFM探針形状評価技術の開発

実施期間:2005 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
原子間力顕微鏡(AFM)においては探針の先端形状のわずかな違いが測定結果(観察画像)に大きな影響を与えます。本開発では、先端形状評価用標準試料と評価技術の確立をめざします。化合物半導体成膜技術を応用して、5~100nmの凸凹周期構造と1nmレベルの孤立構造を持つ標準試料を開発し、探針形状の精密測定を可能にします。さらに標準試料による形状補正アルゴリズムを開発して、AFMにおけるナノ測定の定量化、標準化に貢献します。
研究制度: 先端計測分析技術・機器開発プログラム
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
研究予算: 0(千円)
上位研究課題 (1件):

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