研課題
J-GLOBAL ID:200904008118264517  研究課題コード:0550032393 更新日:2005年12月28日

タンパク質コアを利用したナノエッチング技術開発

実施期間:2003 - 2009
研究概要:
「ナノテクノロジーを活用した新しい原理のデバイス開発」プロジェクトでは、かご状タンパク質の内部空間で電子材料ナノ粒子を合成した後、かご状タンパク質の自己組織化によるボトムアップ手法により、2次元配列の極微構造を作製し、その後、この配列からタンパク質部分を選択除去することで、電子材料ナノドット配列構造を作製する。そしてこの配列をキーコンポーネントであるフローティングゲートとして利用するフローティングゲートメモリデバイスの作製を行うことが目的となっている。
キーワード (3件):
半導体デバイス ,  プラズマエッチング ,  バイオナノプロセス
プロジェクト名: ナノテクノロジーを活用した新しい原理のデバイス開発
プロジェクト実施機関 (1件):
  • (株)松下電器産業・先端技術研究所
プロジェクト代表研究者 (1件):
  • 山下 一郎
研究制度: -

前のページに戻る