研課題
J-GLOBAL ID:200904009667436210  研究課題コード:9800004122 更新日:2005年12月08日

高精度分光エリプソメータの開発と非晶質及び結晶性半導体の光学特性の評価

Optical properties of amorphous and crystalline semiconductors measured by high precision spectroscopic ellipsometer
実施期間:1985 - 0
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
4ゾーン消光型高精度分光エリプソメータを試作し,非晶質及び結晶性半導体の光学特性を計測する
キーワード (5件):
半導体 ,  非晶質 ,  消光 ,  エリプソメータ ,  光学的性質
研究制度: 経常研究

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