マイクロ金属構造体形成に関する研究

The research on micro metal structure composition

実施期間：2003 - 2004
実施機関 (1件)：
実施研究者（所属機関） (1件)：
研究概要：

UV-LIGAプロセスを金型加工技術に応用することにより、次世代対応型のマイクロ金型を試作した。

キーワード (3件)：

めっき , MEMS , 金型

プロジェクト実施機関 (1件)：

研究制度：経常研究

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