研課題
J-GLOBAL ID:200904012383957815  研究課題コード:6000001651 更新日:2007年12月21日

真空紫外光発生装置の開発

Development of producing vacuum ultraviolet radiation
実施期間:2005 - 2006
研究分野 (1件): プラズマ科学
研究概要:
真空紫外光発生装置を開発するにあたり,無反射終端形状による付加吸収構造から発生するマイクロ波プラズマ発光を利用した真空紫外光発生システムを構築した.沿面放電プラズマ全体を発光面にできるため,1光源で発光面サイズφ100mmという大面積真空紫外光源をとなった. 放電チャンバ内で発生したプラズマ真空紫外光は,透過窓を経て反応チャンバ内へ照射され,このようなリモートプラズマ構造により,光エネルギーだけを利用し,処理する試料にダメージを与えない技術となる. また,発生した真空紫外光を利用して,フォトレジスト膜の除去実験を行い,紫外線よりもその効果が大きいことを実証した.
プロジェクト代表研究者 (1件):
  • 高尾清利
研究制度: 共同研究

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