研課題
J-GLOBAL ID:200904012413627041  研究課題コード:9950000290 更新日:2004年11月16日

高出力圧電マイクロポンプ

High output power piezoelectric micropumps
実施期間:1996 - 0
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
10mmサイズの流体駆動マイクロマシンの搭載形流体パワー源として,圧電素子により加振されるベローズの容積変化を用い共振により高出力化を図ったマイクロポンプおよび吐出側チェック弁の代わりに設置した管路要素の慣性を応用した高出力圧電マイクロポンプを提案,試作し,特性実験および改良をすすめている。
キーワード (6件):
マイクロマシン ,  流体制御システム ,  マイクロポンプ ,  圧電素子 ,  共振 ,  慣性
プロジェクト実施機関 (1件):
  • (0192008000)
研究制度: 経常研究

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