研課題
J-GLOBAL ID:200904012614782991  研究課題コード:9800039138 更新日:2003年12月15日

物理蒸着法で形成させた皮膜の気固反応による機能強化に関する研究

A study of gas-solid reactions for improving properties of thin films formed by using PVD methods
実施期間:1996 - 1996
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
イオンプレーティングなどの物理蒸着法によっていられた皮膜を各種雰囲気中で再加熱することにより,皮膜の機能強化を図る。実験は次の3段階から成る。すなわち,このような処理に適した皮膜種を選定,成膜法及びガス種の検討,及び以上についての最適条件の決定である
キーワード (5件):
物理蒸着 ,  蒸着膜 ,  気固反応 ,  気体 ,  最適条件
研究制度: 経常研究
研究予算: 1996年度: 250(千円)

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