研課題
J-GLOBAL ID:200904012655286354  研究課題コード:9800021177 更新日:1996年12月13日

レーザ微細パターン加工技術に関する研究

Development of laser processing techniques for high-definition patterns
実施期間:1993 - 1994
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (4件):
研究概要:
CADデータを用いた微細パターンレーザ加工技術を実現するための,高度加工テーブル制御方法について研究する
キーワード (5件):
レーザ加工 ,  数値制御 ,  パターン形成 ,  CAD【計算機】 ,  微細加工
研究制度: 経常研究
研究予算: 1994年度: 1,670(千円)

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