研課題
J-GLOBAL ID:200904013966208469  研究課題コード:9800033613 更新日:2003年12月15日

光センサー用薄膜作製のためのレーザアブレーション成膜法に関する調査研究

Thin film preparation for optical sensors using laser ablation method
実施期間:1995 - 1997
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (4件):
研究概要:
多元素系の薄膜を作製するのに適しているレーザアブレーション成膜装置と高密度の酸素ラジカルを発生できるラジカル源を用いて酸化物薄膜を作製し,光センサーとしての可能性について検討する
キーワード (4件):
薄膜 ,  光センサ ,  レーザアブレーション ,  酸化物
研究制度: 経常研究
研究予算: 1997年度: 223(千円)

前のページに戻る