研課題
J-GLOBAL ID:200904014460799937  研究課題コード:9800024474 更新日:2006年03月14日

フラクトエミッションによる表面評価と応用に関する研究

Surface evaluation by fract emission and its applications
実施期間:1990 - 1994
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (5件):
研究概要:
1) 研究目標 材料の複合化・高機能化に伴い、表面の数原子層という極めて微細なオーダーでの材料の創製・加工・評価、いわゆるナノメートル・テクノロジーの確立が急務である。本研究では、フラクトエミッションを用いて材料の加工・破壊時における加工表面・損傷表面の変化を動的に評価する技術を確立して、ミクロなスケールにおける加工・破壊現象のメカニズムの究明及び超微細加工評価への応用を図る。 2) 研究計画 (1)フラクトエミッション分析装置の開発。フラクトエミッション分析装置における試料の周辺環境(真空度・雰囲気ガス等)を制御可能とする。さらに、この制御された環境下で材料にベンディングストレスによる機械的刺激を加え、放出されるエミッションを計測する装置を設計・試作する。(2)材料加工・破壊プロセスの評価・応用技術の研究。均一金属材料を試料に用いて、超高真空中における材料加工・破壊時のフラクトエミッションの発生特性に関する知見を得る
キーワード (8件):
ナノメータ加工 ,  ナノ構造 ,  表面性状 ,  破壊 ,  表面構造 ,  曲げ応力 ,  材料試験 ,  金属材料
研究制度: 特別研究
研究所管省庁:
経済産業省
研究所管機関:
国立研究開発法人産業技術総合研究所
研究予算: 1994年度: 14,089(千円)

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