研課題
J-GLOBAL ID:200904014539824759  研究課題コード:9800037372 更新日:2005年11月09日

多層構造薄膜センサーに関する研究

Study on multi-layered thin film senser
実施期間:1996 - 1998
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
機械部品の表面に多層構造薄膜を形成し,機械部品の歪や応力を計測することのできる薄膜センサー及び部材の腐食等を防止する保護膜の開発を目指す。具体的にはセンサー部にAlN圧電性薄膜,その保護膜として(DLC,hBN等)及び密着性を維持するため中間層にSiO2等の酸化膜を挟み込んだ3層膜の作成法について研究し,さらに機械部材としてセラミックス系(SiC,Si3N4等)工具を用い,工具-センサー一体型として実証試験を行う
キーワード (9件):
セラミック工具 ,  圧電体 ,  酸化膜 ,  センサ ,  応力測定 ,  歪 ,  機械要素 ,  薄膜 ,  保護膜
プロジェクト実施機関 (1件):
  • (E519000000)
研究制度: 経常研究
研究予算: 1998年度: 2,090(千円)

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