研課題
J-GLOBAL ID:200904014894451017  研究課題コード:1855 更新日:2013年10月07日

LSI用3次元カーボン・アクティブ配線の開発

実施期間:2007 - 2012
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
配線抵抗の増大、大電流密度による信頼性劣化を抑えるためにグラフェンを用いた微細配線技術、およびグローバル配線に求められるリピータ機能等を持つアクティブ配線技術の開発を行います。
研究制度: 戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
研究予算: 0(千円)
上位研究課題 (1件):

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