研課題
J-GLOBAL ID:200904017375505486  研究課題コード:1852 更新日:2013年10月07日

真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発

実施期間:2007 - 2012
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
極微小欠陥検査用光源の短波長化及び長寿命化のために、波長170nm台の真空紫外光発生用光学結晶の育成技術、および紫外レーザー損傷メカニズムの解明を通して長寿命化技術の開発を行います。
研究制度: 戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
研究予算: 0(千円)
上位研究課題 (1件):

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