研課題
J-GLOBAL ID:200904018414289318  研究課題コード:6000002547 更新日:2008年12月08日

高機能ダイヤモンドライクカーボン製造用プラズマCVD装置の開発

実施期間:2008 - 2010
研究分野 (1件): 薄膜・表面界面物性
研究制度: -

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