研課題
J-GLOBAL ID:200904018664744541  研究課題コード:9800026363 更新日:1995年03月31日

光学的手法による半導体薄膜の評価技術に関する研究

Optical evaluation technology for semiconductor thin films
実施期間:1994 - 1994
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
レーザラマン分光法を中心とする光学的手法により半導体薄膜の構造的,電気的諸特徴を非破壊に評価する技術を開発する
キーワード (7件):
半導体薄膜 ,  評価 ,  レーザ ,  Raman散乱 ,  構造 ,  電気特性 ,  評価
研究制度: 経常研究
研究予算: 1994年度: 2,600(千円)

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