研課題
J-GLOBAL ID:200904018810490000  研究課題コード:9800016895 更新日:2006年02月02日

ピエゾ抵抗素子の応用に関する研究

Study of the applications of piezoresistance devices
実施期間:1992 - 1992
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
薄膜技術を用いて,金属上にピエゾ抵抗素子を形成し,10μmオーダーの微小領域のひずみを検出できる超小型ひずみゲージ等への応用を研究する
キーワード (4件):
圧抵抗効果 ,  歪計 ,  センサ ,  圧電素子
研究制度: 経常研究
研究予算: 1992年度: 111(千円)

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