研課題
J-GLOBAL ID:200904021195792689  研究課題コード:1816 更新日:2013年10月07日

プラズマナノ科学創成によるプロセスナビゲーション構築とソフト材料加工

実施期間:2007 - 2012
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
将来のナノデバイス量産のために、プラズマプロセスを試行錯誤的手法から科学に基づいた手法への質的変換を実現します。そのため、ラジカル・イオン密度、エネルギーのモニタリング技術を有した卓上型コンビナトリアル解析装置を創成し、プラズマナノ科学を構築するとともに、科学に基づいたプロセスデータマップによるプロセスナビゲーションという指導原理を確立します。これにより有機ソフト材料の革新的ナノ加工生産技術を確立します。
研究制度: 戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
研究予算: 0(千円)
上位研究課題 (1件):

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