研課題
J-GLOBAL ID:200904021609614419  研究課題コード:9950000287 更新日:2001年11月30日

ステップ駆動静電マイクロアクチュエータの研究

Study on step-driven electrostatic micro-actuator
実施期間:1998 - 0
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (4件):
研究概要:
基板面外へ垂直にステップ状の変位が可能な、静電マイクロアクチュエータを開発する。現在、薄膜金属ガラスを用いた円錐ばね形状の可動電 極を有するアクチュエータの試作とその性能評価を行っている。
キーワード (5件):
MEMS ,  マイクロアクチュエータ ,  静電駆動 ,  非晶質 ,  金属
研究制度: 経常研究
研究予算: 1998年度: 1,000(千円)

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