研課題
J-GLOBAL ID:200904022440490592  研究課題コード:9800046390 更新日:1998年04月22日

コリメーションスパッタ

Study on collimation spatter
実施期間:1995 - 2000
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
キーワード (3件):
コリメーション ,  イオンエッチング ,  スパッタ蒸着
研究制度: 経常研究
研究予算: 1998年度: 0(千円)

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