研課題
J-GLOBAL ID:200904024064002045  研究課題コード:6000001672 更新日:2007年12月21日

ポリフィルムの表面処理によるアモルファスシリコン薄膜の密着性向上

実施期間:2002 - 2003
研究分野 (1件): プラズマ科学
研究概要:
RF大気圧プラズマ発生装置を開発し、発生させたラジカル(活性種)を利用して、フレキシブルフィルム表面の酸化膜除去や表面の微細形状加工等の処理を行い、膜の密着性向上を図るとともに、酸化防止用窒素膜の形成について検討した。
プロジェクト代表研究者 (1件):
  • 高尾清利
研究制度: 共同研究

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