研課題
J-GLOBAL ID:200904025524141495  研究課題コード:9800040256 更新日:2006年03月15日

複合酸化物薄膜の作製技術の基礎的研究

Basic study on forming technique of complex oxide thin film
実施期間:1993 - 1995
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
多元素から構成されている複合酸化物は、近年センサーなど各種分野で広く用いられている。特にチタン酸鉛(PbTiO3)に代表されるペロブスカイト型の酸化物強誘電体は、鉛(Pb)をランタン(La)、チタン(Ti)をジルコニウム(Zr)に一部置換することにより、高い誘電率、圧電性、焦電性、電気光学特性を付与することができる。本研究では、複合酸化物薄膜の組成、構造の制御法について検討するとともに、複合酸化物薄膜の組成による各種特性の変化について検討する。
キーワード (9件):
誘電体薄膜 ,  酸化物 ,  薄膜成長 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  化学組成 ,  誘電率 ,  圧電気 ,  焦電気 ,  電気光学効果
研究制度: 科学技術振興調整費による重点基礎研究
研究所管省庁:
経済産業省
研究所管機関:
国立研究開発法人産業技術総合研究所
研究予算: 1995年度: 4,825(千円)

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