複合酸化物薄膜の作製技術の基礎的研究

Basic study on forming technique of complex oxide thin film

実施期間：1993 - 1995
実施機関 (1件)：
実施研究者（所属機関） (1件)：
研究概要：

多元素から構成されている複合酸化物は、近年センサーなど各種分野で広く用いられている。特にチタン酸鉛(PbTiO3)に代表されるペロブスカイト型の酸化物強誘電体は、鉛(Pb)をランタン(La)、チタン(Ti)をジルコニウム(Zr)に一部置換することにより、高い誘電率、圧電性、焦電性、電気光学特性を付与することができる。本研究では、複合酸化物薄膜の組成、構造の制御法について検討するとともに、複合酸化物薄膜の組成による各種特性の変化について検討する。

キーワード (9件)：

誘電体薄膜 , 酸化物 , 薄膜成長 , ペロブスカイト型結晶 , 化学組成 , 誘電率 , 圧電気 , 焦電気 , 電気光学効果

研究制度：科学技術振興調整費による重点基礎研究
研究所管省庁：

経済産業省

研究所管機関：

国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究予算： 1995年度: 4,825(千円)

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