研課題
J-GLOBAL ID:200904025524141495
研究課題コード:9800040256
更新日:2006年03月15日
複合酸化物薄膜の作製技術の基礎的研究
Basic study on forming technique of complex oxide thin film
実施期間:1993 - 1995
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
多元素から構成されている複合酸化物は、近年センサーなど各種分野で広く用いられている。特にチタン酸鉛(PbTiO3)に代表されるペロブスカイト型の酸化物強誘電体は、鉛(Pb)をランタン(La)、チタン(Ti)をジルコニウム(Zr)に一部置換することにより、高い誘電率、圧電性、焦電性、電気光学特性を付与することができる。本研究では、複合酸化物薄膜の組成、構造の制御法について検討するとともに、複合酸化物薄膜の組成による各種特性の変化について検討する。
キーワード (9件):
誘電体薄膜
, 酸化物
, 薄膜成長
, ペロブスカイト型結晶
, 化学組成
, 誘電率
, 圧電気
, 焦電気
, 電気光学効果
研究制度:
科学技術振興調整費による重点基礎研究
研究所管省庁:
研究所管機関:
研究予算:
1995年度: 4,825(千円)
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