研課題
J-GLOBAL ID:200904026134547730  研究課題コード:9800035927 更新日:2004年02月24日

TEM,AES,XPSによるCVDダイヤモンドの不純物分析に関する研究

Analysis of impurity in the CVD-diamond with TEM, AES, XPS
実施期間:1995 - 1995
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
EACVD,ECRプラズマCVDなどの方法で作製したダイヤモンド膜をTEM,AES,XPSで分析し,成膜条件をより適正にするためのデータを蓄積する
キーワード (9件):
ECRプラズマ ,  プラズマCVD ,  ダイヤモンド ,  薄膜 ,  Auger分光法 ,  X線光電子分光法 ,  不純物 ,  透過型電子顕微鏡 ,  顕微鏡観察
研究制度: 経常研究
研究予算: 1995年度: 0(千円)

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