研課題
J-GLOBAL ID:200904026648564358  研究課題コード:9800043454 更新日:2003年12月15日

マイクロセンサ開発のための加工技術の研究

Study on processing technique for development of micro-sensors
実施期間:1997 - 1999
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
近年,シリコンマイクロマシニング技術を用いたセンサの開発が多く見られるようになった。この技術を用いることにより,従来製品のいっそうの小型化が実現できるほか,大量生産が可能であること,材料がシリコンであるため,集積化がしやすいなどのメリットも有する。本研究では,この技術に関して加工技術だけでなく組立技術といったセンサ開発に必要な一連の要素技術について研究を行う
キーワード (4件):
センサ ,  マイクロマシニング ,  組立 ,  技術開発
研究制度: 経常研究
研究予算: 1998年度: 14,426(千円)

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