研課題
J-GLOBAL ID:200904027616155100  研究課題コード:9800037619 更新日:2003年12月15日

高加速電圧におけるオージェ電子相対感度係数に関する研究

Study on relative sensitivity factor of AES in high accelerating voltage conditions
実施期間:1996 - 1997
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
一次元ビームの加速電圧が高い条件でオージェ電子の相対感度係数を検討し,極微小領域組成分析に関して研究する
キーワード (5件):
化合物半導体 ,  電子銃 ,  感度 ,  Auger分光法 ,  表面分析
研究制度: 経常研究
研究予算: 1996年度: 0(千円)

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