研課題
J-GLOBAL ID:200904029661605321  研究課題コード:9800005775 更新日:2003年12月15日

短波長真空紫外光顕微鏡光学システムの開発

Development of an optical system for vacuum-ultraviolet microscope
実施期間:1988 - 1993
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
レーザープラズマより発生する短波長真空紫外光顕微鏡用の光学レンズおよび検知系を含む光学システムの開発を目標とする
キーワード (6件):
光学顕微鏡 ,  真空紫外線 ,  光学系 ,  レンズ ,  紫外検出器 ,  レーザプラズマ
研究制度: その他の研究制度
研究予算: 1992年度: 16,480(千円)

前のページに戻る