研課題
J-GLOBAL ID:200904030444480578  研究課題コード:9800039205 更新日:2003年12月15日

エキシマレーザの加工特性に関する研究

Study on machining property of exima laser
実施期間:1996 - 1997
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
発振波長が紫外線領域で,超短パルス光であるエキシマレーザ(KrF発振;248nm)の微細加工性を解明し,微小領域加工への取り組みとして微細複雑形状の形成方法について検討する
キーワード (5件):
精密加工 ,  微細加工 ,  エキシマレーザ ,  レーザ加工 ,  アブレーション
研究制度: 経常研究

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