研課題
J-GLOBAL ID:200904030578091462  研究課題コード:9800012994 更新日:2003年05月14日

アーク放電プラズマにおける蒸発挙動とイオン化に関する研究

Study on evaporation behavior and ionization in arc discharge plasma
実施期間:1990 - 1992
研究概要:
プラズマ・プロセスにおける蒸発源やイオン源として、真空中でのアーク放電プラズマを安定に維持するために、溶融金属表面での蒸発形態を観測する手法を確立するとともに、プラズマ領域での金属蒸気の流れを計測・解析してその基礎的知識を得る
キーワード (9件):
プラズマCVD ,  プラズマ安定化 ,  金属蒸気 ,  イオン化 ,  流動解析 ,  気体流 ,  流れ特性 ,  真空アーク ,  蒸発
研究制度: 経常研究
研究所管省庁:
文部科学省
研究予算: 1992年度: 650(千円)

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