研課題
J-GLOBAL ID:200904031224506670  研究課題コード:0250001321 更新日:2007年05月17日

プロセス制御技術 微粒子創製・転写によるプロセス制御の研究

Process control technique: Study on process control by creation and transcription of fine particles
実施期間:1997 - 2001
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究分野 (1件): その他
研究概要:
高密度パルス光を用いた有機薄膜の表面プロセシング技術の開発 (k2001.10)
キーワード (1件):
レーザープロセッシング
プロジェクト名: 先端的基盤科学技術 高密度パルス光の発生と先端的物質制御に関する研究
プロジェクト実施機関 (1件):
  • 豊橋技術科学大学
プロジェクト代表研究者 (1件):
  • 英 貢(第三工学系教授)
研究制度: 科学技術振興調整費
研究所管省庁:
文部科学省

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