研課題
J-GLOBAL ID:200904031798036817  研究課題コード:9800026878 更新日:2006年02月02日

微小変位測定方法に関する研究

Study on measuring methods for micro displacements
実施期間:1994 - 1994
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
XYステージの精度測定において,移動量と各種移動誤差(回転,上下,左右ぶれ)を100mmの分解能で測定する方法について研究する。その後,その手法を用いて,微小変位する移動ステーブの姿勢制御をするためのデータを得る
キーワード (6件):
精密加工 ,  工作精度 ,  変位測定 ,  姿勢制御 ,  測定誤差 ,  誤差解析
研究制度: 経常研究
研究予算: 1994年度: 100(千円)

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