研課題
J-GLOBAL ID:200904034450968022  研究課題コード:9800033610 更新日:2003年12月15日

光電子陰極を用いた中真空用電離真空計の試作 (大阪市立大学工学部との共同研究)

Ionization gauge with Pd thin film photo-cathode for medium vacuum pressure measurement
実施期間:1995 - 1996
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
従来のイオンゲージに使われている熱フィラメントを使う代わりに,光電子放出用陰極としてPd薄膜を使った,中真空用の新しい電離真空計を研究する
キーワード (5件):
電離真空計 ,  薄膜 ,  光電子放出 ,  陰極 ,  パラジウム
研究制度: 経常研究
研究予算: 1996年度: 0(千円)

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