光電子陰極を用いた中真空用電離真空計の試作 (大阪市立大学工学部との共同研究)

Ionization gauge with Pd thin film photo-cathode for medium vacuum pressure measurement

実施期間：1995 - 1996
実施機関 (1件)：
実施研究者（所属機関） (2件)： ,
研究概要：

従来のイオンゲージに使われている熱フィラメントを使う代わりに,光電子放出用陰極としてPd薄膜を使った,中真空用の新しい電離真空計を研究する

キーワード (5件)：

電離真空計 , 薄膜 , 光電子放出 , 陰極 , パラジウム

研究制度：経常研究
研究予算： 1996年度: 0(千円)

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