研課題
J-GLOBAL ID:200904034926900260  研究課題コード:6000002677 更新日:2010年01月12日

ナノメートル領域までの表面粗さ測定を向上させる標準面実量器の製作

実施期間:2005 - 2008
研究分野 (1件): その他
研究概要:
精緻に制御された表面凹凸形状の構成要素部品は、測定原理の異なる測定器間で、測定結果が異なるといった不都合が生じている。そこで、各種の測定機に対応可能なトレーサブルなランダム面標準実量器および測定性能の検証システムを構築する。 1 電子線描画装置による多重露光法開発 ・三次元データからの変換法および形状と露光時間の関係式の導出 2 ニッケル電鋳による型形成技術 ・シード層形成条件および気泡除去法 3 ナノインプリントによる転写技術 ・材料の選択とインプリント条件の把握
研究制度: -

前のページに戻る