研課題
J-GLOBAL ID:200904036076672044  研究課題コード:2816 更新日:2013年10月07日

X線円形多層膜ラウエレンズの開発

実施期間:2006 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
超精密成膜技術を用いて、高空間分解能かつ高回折効率のX線円形多層膜ラウエレンズを開発します。従来の電子ビームリソグラフィー法に基づくX線レンズの製作では、いずれの性能もほぼ限界に達しており、ナノメータスケールの非破壊構造観察を実現するには、新しい製作法の導入が不可欠です。10nm以下の空間分解能を有するX線円形多層膜ラウエレンズを開発し、究極の電磁波であるX線自由電子レーザーがもたらすX線画像科学における質的変革の一翼を担います。
研究制度: 先端計測分析技術・機器開発プログラム
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
研究予算: 0(千円)
上位研究課題 (1件):

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