研課題
J-GLOBAL ID:200904039644685996  研究課題コード:0350011472 更新日:2003年12月15日

表面高機能化を目的とした炭素系薄膜の作製技術の開発

Development of preparation technique of carbon series thin layer for the purpose of advanced function of surface
実施期間:2001 - 2002
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (3件):
研究概要:
真空蒸着法を用いて,超撥水性付与を目指したフッ素系有機材料の薄膜化技術の開発を行う。励起ビームアシストを行うことにより,蒸着だけでは得られない,密着性や膜強度の向上を図り,実用に耐える超撥水性薄膜の作製を試みる。また,プラズマスパッタ法を用いる手法としては,メタン等の炭化水素ガスを炭素源としたプラズマ中及び基板上での反応を利用しながら,カーボンターゲットをスパッタする事により,比較的速い成膜速度で非晶質炭素薄膜や窒化炭素薄膜の合成を目指す。膜の緻密性を向上させることにより,表面保護膜や高分子フィルムの耐ガス透過性向上などを目指した薄膜作製を試みる。
キーワード (6件):
フッ素樹脂薄膜 ,  炭素薄膜 ,  撥水性 ,  ガスバリア性 ,  プラズマアシスト ,  真空蒸着
研究制度: -

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