研課題
J-GLOBAL ID:200904041851126217  研究課題コード:9800011747 更新日:2006年02月03日

複合化による機能性セラミックセンサの開発 SnO2ターゲットの作成条件とDCスパッタ法による成膜 条件との関係について

Development of functional ceramic sensor by compounding Study on relation between condition of SnO2 target preparationand that of the thin film formation by DC sputtering method
実施期間:1991 - 1993
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
各種機能性セラミックスについて,その機能の追求と応用について研究を行う。′91年度は酸化すず(SnO2)に数種類の添加物を不純物として加え,焼結温度・時間等作成条件を変えて得られたSnO2ターゲットと,それを用いてDCマグネトロンスパッタリング法で生成したSnO2薄膜との関係について検討する
キーワード (14件):
酸化すず ,  ガスセンサ ,  機能性セラミック ,  マグネトロンスパッタリング ,  直流 ,  ターゲット ,  薄膜成長 ,  複合材料 ,  機能 ,  不純物 ,  ドーピング ,  ドーパント ,  焼結 ,  半導体薄膜
研究制度: 経常研究

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