研課題
J-GLOBAL ID:200904044066346621  研究課題コード:9800024661 更新日:2006年03月14日

高性能透明セラミック薄膜製造技術に関する研究

Study on production technique of high performance transparent ceramic thin film (1) Precise control in synthesis of thin film
実施期間:1989 - 1992
研究概要:
1) 研究目標 透明セラミックスは光エレクトロニクスの分野で重要であり、その薄膜化による 素子の小型化、応答速度の向上などが要求されている。 光機能性の高いセラミックスは 多元素から構成されているが、これを制御性良く薄膜化する技術は確立されていない。 本研究では、多成分元素からなる物質を厳密な組成制御を行って薄膜化する技術を開発し、 その方法により電気光学効果を有する透明セラミック薄膜を製造する技術の確立を目指す。 2) 研究計画 (1)薄膜合成における精密制御 多成分系透明セラミック薄膜合成法の確立 をはかる (2)透明セラミック薄膜の特性評価 合成した透明セラミック膜の光学特性、 電気化学特性などを測定する
キーワード (8件):
ファインセラミック ,  透明材料 ,  薄膜成長 ,  光学素子 ,  電気光学効果 ,  制御 ,  合成 ,  多成分系
研究制度: 特別研究
研究所管省庁:
経済産業省
研究所管機関:
国立研究開発法人産業技術総合研究所
研究予算: 1992年度: 8,909(千円)

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