研課題
J-GLOBAL ID:200904044501612525  研究課題コード:9800030347 更新日:2006年03月14日

機能性薄膜の精密コーティング技術 (相手先:大阪府立産業技術総合研究所、(株)イオン工学研究所、他)

Study on precise coating technique for functional thin films
実施期間:1994 - 1998
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (12件):
研究概要:
1) 研究目標 近畿地域における素材産業の知識集約化の促進に資するため、イオンビーム 及び光ビームを利用して得られる量子励起による、密着性、結晶性に優れた低温プロセス利用 の機能薄膜精密創製技術を開発することを目的とする。 2) 研究計画超硬質、光機能等の 機能を有する薄膜の精密創製技術を開発する。特に、イオンビーム、光ビームの有する量子励起 効果を最大限に活用した新しい発想に基づく低温成膜プロセス技術を開発する。 相手先:大阪 府立産業技術総合研究所、(株)イオン工学研究所、他
キーワード (7件):
薄膜成長 ,  知識集約化 ,  励起 ,  イオンビーム ,  光子ビーム ,  被覆 ,  技術開発
研究制度: (経済産業省)重要地域技術研究開発
研究所管省庁:
経済産業省
研究所管機関:
国立研究開発法人産業技術総合研究所
研究予算: 1996年度: 42,336(千円)

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