研課題
J-GLOBAL ID:200904050248016139  研究課題コード:0250007166 更新日:2004年11月15日

ナノデバイス製造用超精密・微細加工システムの開発

Development of ultraprecision & ultrafine machining system
実施期間:2002 - 2007
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
ナノメートルオーダの加工精度と全軸ダイレクトドライブによる高速加工を実現する超精密・微細加工システムを開発することを目的とする.
キーワード (3件):
ナノ加工 ,  超精密加工 ,  マザーマシン
プロジェクト名: ナノデバイス製造用超精密・微細加工システムの開発
プロジェクト実施機関 (1件):
  • (0192008000)
プロジェクト代表研究者 (1件):
  • 新野秀憲(東京工業大学教授)
研究制度: 科学研究費補助金
研究所管省庁:
文部科学省

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