研課題
J-GLOBAL ID:200904050302909870  研究課題コード:0150002869 更新日:2001年11月28日

干渉計の参照面誤差補正

Compensation of reference plane error of interferometer
実施期間:2000 - 2000
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
既存の干渉計に解析ソフトを付与することで,干渉計の高精度化,多機能化を図る。このうち,今年度は,干渉計のハード上の誤差である参照面誤差をソフトにより補正することで,干渉計を高精度化し,光学部品開発の一助とすることを目的とする。
キーワード (3件):
干渉計 ,  参照面 ,  補正
研究制度: 経常研究

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