研課題
J-GLOBAL ID:200904050753179980  研究課題コード:9800038567 更新日:2005年01月17日

インバータープラズマの生成と応用

Inverter plasma discharge and its applications
実施期間:1995 - 2003
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
高電圧インバーター電源を用いて発生させるグロープラズマ(インバータープラズマ)は、良好な制御性を有する。また、反転する電界を利用した表面処理も可能である。現在のテーマは、低コストでのDLC膜形成である。
キーワード (6件):
グロー放電 ,  プラズマ ,  プラズマ生成 ,  表面処理 ,  DLC,パルス ,  pulse
プロジェクト実施機関 (1件):
  • (0292513024)
研究制度: 経常研究
研究予算: 2003年度: 1,000(千円)

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