研課題
J-GLOBAL ID:200904051090852771  研究課題コード:9800003261 更新日:1998年03月25日

インパクトサーボ機構による微小精密位置決めの研究

Application of impulsive force to micro-positioning
実施期間:1983 - 1996
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
平面上に置かれた固体の一端に軽い衝撃力を加えることによって微小距離の移動が可能となることは経験的に知られている.この現象に着目し,衝撃電磁力および圧電素子の急速変形を利用することにより,従来のサーボ機構とは全く異なる原理による超精密位置決め機構の開発を行っており,ナノメータのオーダーの分解能を有する微小移動機構を実現している.この移動機構の解析を行うとともに,微小移動機構を利用したXYθステージの開発を行っている
キーワード (4件):
位置決め ,  位置制御 ,  移動ロボット ,  圧電素子
研究制度: 経常研究
研究予算: 1996年度: 0(千円)

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