研課題
J-GLOBAL ID:200904052308927473  研究課題コード:9950000273 更新日:2006年03月16日

段差基準片の形成技術の研究

Study of formation technology of standard strip with difference in level
実施期間:1997 - 2000
実施機関 (2件):
実施研究者(所属機関) (3件):
研究概要:
シリコン単結晶の結晶を幾何基準として用いる 微細寸法標準校正用の段差資料片作製技術の研究
キーワード (1件):
段差基準,測定標準,校正,異方性エッチング
研究制度: 経常研究
研究予算: 1999年度: 5,000(千円)

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