研課題
J-GLOBAL ID:200904052475141031  研究課題コード:9800047853 更新日:2003年05月14日

半導体ダイヤモンドの合成と評価に関する研究

実施期間:1996 - 1996
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
不純物として燐を添加したダイヤモンドの合成と分析および電気的評価を行い、ダイヤモンドのn型半導体合成の問題点を明らかにすると共に指針を示す。無機材質研究所においてマイクロ波プラズマ法によるダイヤモンド合成を行うと共に、二次イオン質量分析法によって成長したダイヤモンド中の不純物の存在を確認する。一方、イスラエル工科大学では、不純物を添加したダイヤモンドの電気的特性を測定すると共に不純物の存在状態をイオン散乱法によって決定する。
研究制度: 科学技術振興調整費による個別重要国際共同研究
研究所管省庁:
文部科学省
研究予算: 1996年度: 6,685(千円)

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