研課題
J-GLOBAL ID:200904056577790765  研究課題コード:0050000060 更新日:1999年02月10日

マイクロマシニングによる微小変位センサの作製

Micro Displancement Sensors with micromachining
実施期間:1998 - 1998
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (3件):
研究制度: 経常研究
研究予算: 1998年度: 18,000(千円)

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