研課題
J-GLOBAL ID:200904056577790765 研究課題コード:0050000060
更新日:1999年02月10日
マイクロマシニングによる微小変位センサの作製
Micro Displancement Sensors with micromachining
実施期間:
1998 - 1998
実施機関 (1件):
地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター
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名寄せID(JGON) 201551000096286372 ですべてを検索
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実施研究者(所属機関) (3件):
加沢 エリト
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名寄せID(JGPN) 200901100566703737 ですべてを検索
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上野 武司
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名寄せID(JGPN) 200901100453549499 ですべてを検索
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佐々木 智憲
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名寄せID(JGPN) 200901100330354308 ですべてを検索
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(東京都産業技研)
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研究制度:
経常研究
研究予算:
1998年度: 18,000(千円)
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