研課題
J-GLOBAL ID:200904057499161175  研究課題コード:9800040701 更新日:2006年03月17日

材料の微細表面創成プロセスに関する研究

Study on microfine surface preparation process of the materials
実施期間:1995 - 1996
研究概要:
光学材料や電子材料などの先端材料の進歩に伴い、これらの開発・製造過程においては1ミクロン以下の次元での微細な材料除去・表面創成が実現されている。本研究では、微細な材料除去・表面創成中にその部分から発生する弾性波・光子を検出することにより、材料除去・表面創成プロセスを把握できる新技術の検討を行う。
キーワード (5件):
微細加工 ,  弾性波 ,  光子 ,  監視 ,  インプロセス測定
研究制度: 科学技術振興調整費による重点基礎研究
研究所管省庁:
経済産業省
研究予算: 1996年度: 5,089(千円)

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