研課題
J-GLOBAL ID:200904058843402477  研究課題コード:9800016965 更新日:1996年01月17日

マイクロセンサ利用技術研究

Study on microsensor and its application
実施期間:1992 - 1994
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (9件):
研究概要:
マイクロセンサの基盤技術としての材料開発と,その微細加工技術を確立し,圧力,流量,温度等で構成する複合マイクロセンサを開発する
キーワード (5件):
センサ ,  変換素子 ,  圧力測定 ,  流量測定 ,  温度測定
研究制度: 経常研究
研究予算: 1994年度: 20,000(千円)

前のページに戻る