研課題
J-GLOBAL ID:200904058854992454  研究課題コード:0450021458 更新日:2005年11月08日

次世代超精密加工のための環境補償装置の開発

Development of an environment compensation apparatus for next-generation ultra-precision machining
実施期間:2003 - 2004
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (5件):
研究概要:
環境、とくに気圧の変化に影響されない加工精度の維持を目的に1環境一定制御チャンバー(加工機全体を実験室と分離しその中の気圧をはじめ温・湿度を一定に制御する制御室)と2環境補正装置(環境変化に応じた空気屈折率の変化を正確に補正する装置)を開発し、両装置の性能試験を実施する。
キーワード (8件):
超精密加工 ,  環境補償 ,  気圧制御 ,  気圧補正 ,  レーザ干渉測長 ,  自由曲面 ,  マイクロ加工 ,  CAM
プロジェクト実施機関 (1件):
  • (E354000000)
研究制度: -

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