研課題
J-GLOBAL ID:200904063873931958  研究課題コード:9800003522 更新日:1994年01月19日

Pd-SiトンネルMISガス検知素子

Pd-Si tunnel MIS hydrogen detector
実施期間:1986 - 1992
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
n on p+シリコンに薄いトンネル絶縁膜(厚さ±20〜30Å)を付与し,さらに触媒電極としてPd金属を絶縁膜上に蒸着させた2端子素子はH2ガスを含むふん囲気でスイッチ・オンする特性を持つ.この水素検知素子の高温動作のためのヒータ及び温度検知素子の集積化と長期安定化のための用いる絶縁材料及び半導体構造設計のための開発ならびに他のガスへの応用に関する研究を行なう
キーワード (9件):
変換素子 ,  水素 ,  電力トランジスタ ,  接合ダイオード ,  ガスセンサ ,  MIS構造 ,  トンネル接合 ,  温度測定 ,  集積回路
研究制度: 経常研究
研究予算: 1992年度: 2,000(千円)

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