研課題
J-GLOBAL ID:200904066370466815  研究課題コード:9800026245 更新日:1996年01月16日

ぜい性材料の精密研削における加工条件と評価技術の確立

Machining conditions and evaluation in precision machining for brittle materials
実施期間:1994 - 1994
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (4件):
研究概要:
近年,高硬度ぜい性材料は,精密機器・電子機器等の主要部品として広く使用されるようになった。しかし,これらの加工は従来からの勘と経験に頼るところが多く,高精度化・高品質化要求に各企業とも苦慮している。本研究では,アルミナセラミックス・人工水晶等についての精密平面研削加工技術を開発することにより,現場に直結した加工条件の確立を図るとともに,各種表面粗さ計,原子間力顕微鏡(AFM)及び走査型電子顕微鏡(SEM)を用い検査・評価技術の確立も併せて実施する
キーワード (10件):
脆性材料 ,  平面 ,  研削 ,  加工 ,  原子間力顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  評価 ,  硬度 ,  アルミナ磁器 ,  表面粗さ
研究制度: 経常研究
研究予算: 1994年度: 0(千円)

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