研課題
J-GLOBAL ID:200904067657061340  研究課題コード:9800037613 更新日:2001年03月30日

ガラスのエキシマレーザ加工

Excimer laser ablation of glass
実施期間:1996 - 1996
研究概要:
波長248nmのエキシマレーザを石英ガラス,アルミノけい酸ガラスなどに照射し,レーザフルエンスと加工速度及び加工面性状の関係を調べ,アブレーションしきい値を見い出す。
キーワード (5件):
ガラス ,  レーザ加工 ,  エキシマレーザ ,  レーザアブレーション ,  しきい値
研究制度: 経常研究
研究予算: 1996年度: 100(千円)

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